Linsenlose Mikroskopie für die industrielle Qualitätskontrolle (LiM-Q)

Das Vorhaben Linsenlose Mikroskopie für die industrielle Qualitätskontrolle (LiM-Q) leistet einen Beitrag zur industriellen Qualitätssicherung in der Herstellung von Halbleiterbauteilen. Das Ziel des mit Mitteln des Landes Bremen, der Senatorin für Wirtschaft, Häfen und Transformation und dem Förderprogramm Forschung, Entwicklung und Innovation (FEI) geförderten Projektes ist die Entwicklung eines Messsystems auf Basis der linsenlosen Holografie, welches Weißlicht-Interferometrie-Messungen durchführen kann. Das innovative Messsystem ermöglicht durch den linsenlosen Ansatz eine erhebliche Verringerung der Systemgröße und des Gewichts gegenüber der etablierten Weißlicht-Interferometrie (WLI), was es zu einer idealen Lösung für die Anforderungen der Wafer-Industrie macht. Darüber hinaus ermöglicht das spezielle Auswerteverfahren der aufgezeichneten Hologramme eine vollständige Kompensation von vibrationsbedingten Bauteilverschiebungen während des Messvorgangs. Dies stellt einen entscheidenden Vorteil gegenüber den marktverfügbaren Messsystemen dar. Im Rahmen des Projektes sollen sowohl ein kompaktes Messsystem als auch die dazugehörigen Auswertemethoden entwickelt und in Zusammenarbeit mit unserem Projektpartner Vereinigten Elektronikwerkstätten GmbH (VEW) in die industrielle Anwendung überführt werden.

Laufzeit:

01.11.2023 bis 31.10.2025

Förderkennzeichen:

FUE0645B

Fördermittelgeber:

Das Land Bremen, die Senatorin für Wirtschaft, Häfen und Transformation, Förderprogramm Forschung, Entwicklung und Innovation (FEI). Ein Programm der Bremer Aufbaubank BAB