Gestaltmessung an Asphären und Freiformflächen durch Messung der Kohärenzfunktion
Im BIAS wird derzeit die Multiple Aperture Shear Interferometrie (MArS) entwickelt, die es ermöglicht die Form von Asphären und Freiformoptiken, wie z.B. Zylinderlinsen, zu bestimmen. Das Verfahren basiert auf der Erfassung der Kohärenzfunktion und erlaubt eine interferometrische Messung mit mehreren unabhängigen Lichtquellen, so dass das Problem einer beschränkten Apertur vermieden wird. Durch den Einsatz mehrerer Lichtquellen kann die Beleuchtung flexibel an die Prüflingsoberfläche angepasst werden. Zusätzlich basiert das Messsystem auf einem Scher-Interferometer, welches gegenüber mechanischen Schwingungen unempfindlich ist und daher auch im industriellen Umfeld eingesetzt werden kann. Das Bild zeigt eine Messsituation, in der das Licht von mehr als hundert Lichtquellen (Beleuchtungsaperturen) an einem Prüfling reflektiert wird.