Das Interferometermodul (Abbildung 1) bietet die Möglichkeit Messungen im Bereich der Phase-Shifting Interferometrie (PSI), der Speckleinterferometrie (ESPI) und der Digitalen Holografie (DHI) durchzuführen. Des Weiteren können zwei unterschiedliche Lichtquellen eingesetzt werden. Dabei kann die Einkopplung des Laserlichts entweder über einen Glasfaseranschluss oder über eine Freistrahleinkopplung erfolgen. Zudem bietet das System die Möglichkeit die Beleuchtungsoptik und die damit verbundene Beleuchtungsgeometrie dem zu messenden Objekt anzupassen. Bei Anwendung der Phase-Shifting Interferometrie liegen die erreichbaren Messauflösungen in der Tiefe bei ca. 5 nm für glänzende (reflektierende) Oberflächen und bei ca. 30 nm für streuende Oberflächen.

Abb. 1: Interferometrisches Messsystem

Fördermittelgeber

Industrie

Laufzeit

01.11.2007 - 31.08.2008

Abteilungsleiter

Dr. Christoph von Kopylow